描述
傳統的量子效率系統在新型光電探測器面臨許多測試方法挑戰。如：
- 偏置電壓無法超過12V：傳統量子效率系統使用鎖相放大器，其承受直流電壓無法過大，
因此在一般的量子效率測試儀，電偏壓無法施加超過12V。 - 無法做雜訊頻率分析。
- 無法直接測得NEP與D*。
光焱科技針對新世代的光電探測器 (PD) 提供了完整解決方案~命名為PD-QE。
可針對第三代半導體材料 Photodiode/ Photodetector 的相關特性進行量測:
傳統的量子效率系統在新型光電探測器面臨許多測試方法挑戰。如：
光焱科技針對新世代的光電探測器 (PD) 提供了完整解決方案~命名為PD-QE。
| 應用領域 | |
|---|---|
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| 可檢測參數 |
|---|
| 外部量子效率光譜測量 |
| 光譜響應測量 |
| I-V曲線測量
不同光強I-V曲線測量 定電流/電壓，電壓/電流隨時間變化測試 |
| NEP光譜測量 |
| D*光譜測量 |
| Noise-current-frequency響應圖 (A/Hz-1/2; 0.01Hz~1000Hz) |
| Flicker noise, Johnson Noise, Shot noise 分析 |
PD-QE可直接針對器進進行頻率雜訊的檢測與作圖。
PD-QE已整合Keithley與Keysight出產的多種SMU，進行多種的IV曲線掃描。
使用者無需另外尋找或是自行整合IV曲線測試。圖中顯示PD-QE測試不同樣品的IV曲線，並進行多圖顯示。
| 設備規格 | |
|---|---|
| 光源與光束傳遞裝置系統 | 高穩定Xe燈光源 |
| 高效率、高反射率橢圓反射鏡集光系統 | |
| 自動濾片輪系統 | |
| 穩定供電電源 | |
| 光源不穩定性 < 1% | |
| 燈源計時器 | |
| 單色光模組：波長範圍 300~1100 nm | |
| 光斑耦合模組：光斑尺寸：1×1 mm2。 | |
| 光能量校正模組 | 光強偵測器Si |
| 波長範圍: 300-1100nm | |
| 具追溯報告, 可溯源至NIST | |
| 手動光強調變套件(MLDR) | 檢附多片光強衰減濾片 |
| 含濾片架 | |
| 濾片架可適配光能量校正模組與客製載台 | |
| iDB遮罩暗箱 | 集成式防雜光遮罩暗箱 |
| C-IPC控制器 | 工業電腦( 含螢幕、鍵盤滑鼠) |
| 產品尺寸 | 檯面承重：200 kg
檯面面積：1200mm(L) x 1000mm(W) 設備尺寸：620mm(L) x 620mm(W) x 725mm( 設備重量 : 80 kg |
光源不穩定性 < 1%
單色光模組：波長範圍 300~1100 nm
光斑耦合模組：光斑尺寸：1×1 mm2。
可選配：EQE近紅外波長擴展至1800nm
在全新的軟體平臺SW-XQE上，具有便捷的擴展性：可測試標準EQE外，更可整合多種SMU的控制，並檢測IV曲線。同時具備各種分析功能，如D*、NEP、頻率雜訊圖。
| 測量軟體功能 | 絕對光強校正 |
|---|---|
| 光譜響應測量 | |
| 外部量子效率測量（EQE） | |
| Dark IV量測, J0分析 | |
| NEP光譜 | |
| D* 光譜 | |
| Noise-current-frequency響應圖 (A/Hz-1/2) | |
| Flicker noise, Johnson Noise, Shot noise 分析 | |
| I-V曲線測量
定電流/電壓，電壓/電流隨時間變化測試 照光條件下 獨立控制操作整體硬體系統及資料讀取 |
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| 資料保存格式txt |
| 可選配 | 選配內容 |
|---|---|
| 高精度電壓源電流源
傅立葉轉換(FFT)量測模組(一) |
電流解析度達1E-12安培量測解析度
電壓源±20V 擁有> 4,500 reads/s, 具FTM 快速傅利葉轉換套件 (Co-axial接頭)，並可提供FFT分析 Noise-current frequency可達5kHz |
| 高精度電壓源電流源
傅立葉轉換(FFT)量測模組(二) |
電流解析度達1E-14安培量測解析度
具±200V電壓源 擁有> 4,500 reads/s, 具FTM 快速傅利葉轉換套件 (Co-axial接頭)，並可提供FFT分析 Noise-current frequency可達20kHz |
| 載台 | XYZ軸位移平台 |
| EQE近紅外波長擴展 | 測量波長擴展300-1800nm(擴展至1800nm)
標準Ge鍺探測器與連接線 擴展波長範圍800-1800nm 附標定報告 擴展長波長光譜軟體測量功能 |
