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SPD2200 商用級SPAD單光子雪崩二極體效率整合型測試儀

全光譜性能參數測試分析:

  • 全光譜光譜響應(SR, Spectral Responsivity)
  • 全光譜量子效率(EQE, External Quantum Efficiency)
  • 全光譜光子探測率(PDP, Photon Detection Probability)
  • 暗計數DCR (Dark Count Rate)
  • 崩潰電壓BDV (Break-Down Voltage)

SPAD的單光子雪崩二極體特性參數分析:

  • Jitter
  • Afterpulsing probability
  • Diffusion tail
  • SNR
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Table of Contents

描述

SPD2200整合了所有先進光學與電學系統,搭配光焱科技多年光感測器測試與分析的經驗,提供完整與便利的軟體控制介面與分析功能。SPD2200可幫助您節省系統搭設的時間成本,並降低測試結果的不確定性。加快產品的開發週期,提升產品的競爭力。

光焱新型單光子偵測器特性分析設備SPD2200,因直接整合光學及電學系統,具有體積小,可在原生產廠商生產線上快速搭建之優勢,且軟硬體結合效果,可有效節省開發SPAD開發時RD人力成本,並大幅減少測試結果不確定性以提升良率,在各家廠商加速開發光達所需的SPAD晶片競賽中,成為重要關鍵研究設備。

SPD2200實證

SPAD的暗計數與偏壓關係圖

SPAD的暗計數與偏壓關係圖

在不同電壓下SPAD光子探測效率的PDE光譜

在不同電壓下SPAD光子探測效率的PDE光譜

SPAD暗計數與崩潰電壓

SPAD暗計數與崩潰電壓

SPAD的Jitter測量

SPAD的Jitter測量

SPD2200整合性與研究人員自組量測設備差異

光焱科技的SPD2200將所有量測所需軟硬體整合為整合型設備,對照傳統過往研究人員在光學桌自行搭建量測設備,
對於空間的使用性更為妥善,也為高精密度的量測設備元件提供更好保護,達成更精準的量測。

光焱科技 整合型量測設備 SPD2200

SPD2200 外觀

傳統研究人員自行搭建之量測系統

應用領域

光焱科技全新打造的SPD2200是針對全球第一台最新型商用級針對單光子偵測器(SPD, Single Photon Detector)的特性測試分析設備。

可應用於開發Lidar(光達)中重要的零組件SPAD(Single Photon Avalanche Detector)單光子雪崩二極體的特性測試分析設備,滿足客戶在開發dTof模組所需量測各種參數。

SPD2200共有(1)全光譜特性測試模組(SDTM) (2)時域特性測試模組(TDTM)兩種模組,可針對不同量測場景選購使用,也可同時兼被兩種模組,進行全方面完整量測。


 

可檢測項目

可檢測參數
全光譜性能測試 SPAD的單光子辨析特性分析
全光譜光譜響應
(SR, Spectral Responsivity)
時基抖動特性 (Jitter)
全光譜量子效率
(EQE, External Quantum Efficiency)
Afterpulsing probability
全光譜光子探測率
(PDP, Photon Detection Probability)
擴散尾態 (Diffusion Tail)
暗計數DCR
(Dark Count Rate)
SNR
崩潰電壓BDV
(Break-Down Voltage)

 


 

SDTM、TDTM 測試模組

(1)SDTM全光譜特性測試模組設備規格


SDTM全光譜特性測試模組設備規格

 

連續波長光源
  1. 穩定燈源系統(氙燈)
  2. 單色光產生器:
    350-1100 nm,解析度為1nm,
    典型半寬為10 nm;0.6nm 精度
  3. 光纖耦合與光學均相器:
    5×5 mm or 10×10 mm 光束,
    在25 mm 工作距離下的均勻性>99%。(@50 mm x 50 mm 光點)
光源與光束傳遞裝置系統
  1. 超高均勻矽光電二極體感測器,有效面積為10mm x10 mm,經光老化處理,消除不穩定性
  2. 波長範圍350-1100nm,峰值為960nm
  3. 經認證的校準報告,可追溯至NIST(ISO 17025認證,符合規範1)
  4. 雜訊等效功率為1.5 x 10-14 W/√赫茲
源錶
  1. 器件偏壓與量測
  2. 電壓範圍: > 200V
  3. 電流範圍: 1.5A max.
  4. 最小解析度: 100 nV , 10 fA
光子計頻器
  1. 解析度: 100 ps
  2. 計頻速率: > 300 MHz
  3. 輸入電壓範圍: ± 5V
可量測參數
  1. 全光譜光子探測率
  2. 暗計數
  3. 全光譜量子效率
  4. 崩潰電壓
  5. 全光譜光譜響應

(2)TDTM時域特性測試模組

TDTM時域特性測試模組

PS Laser
  1. 波長 940 nm
  2. FWHM <90 ps
  3. MAX rep. rate: 80 MHz (可調)
T-counter
  1. Detection Channel: 4 Chs
  2. BIN Resolution: 5 ps
  3. 時間標記與時間解析模式
可量測參數
  1. 時基抖動特性 (Jitter)
  2. 擴散尾態 (Diffusion Tail)
  3. 信噪比

 

控制器

  • 工業電腦
  • 螢幕
  • 鍵盤滑鼠

可選配項目

選配 探針台
  1. 三種款式: 全自動 / 半自動 / 手動
  2. 適合晶圓級樣品量測
  3. 規格請洽光焱專業人員討論之
客製化測試治具
  1. 適合模組型態樣品量測
  2. 規格請洽光焱專業人員討論之
客製化暗箱
  1. 暗箱具備雜訊屏蔽功能
  2. 規格請洽光焱專業人員討論之

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