描述
隨著 5G 與移動裝置的興起與普及，越來越多新型光感測器被應用於我們的日常生活中。
為了能更好的應用在行動裝置上，這些先進光感測器的組件感光面積越做越小。但這些應用卻對先進光感測器的光感測性能要求卻越來越高。在感光面積微縮的過程中，也帶來量子效率精准檢查的挑戰。
例如，傳統聚光型小光斑在不同波長下，色散差造成焦點位移可到 mm 等級。
難以將所有的光子都聚焦到微米等級的感光面積中。因此，難以準確測得全光譜量子效率曲線。
APD-QE 採用獨家光束空間均勻化技術，利用 ASTM 標準的「Irradiance Mode」測試方式，與各種先進探針台形成完整的微米級光感測器全光譜量子效率測試解決方案。APD-QE 已被應用于多種先進光感測器的測試中，例如在iPhone光達與其多種光感測器、Apple Watch 血氧光感測器、TFT 影像感測器、有源主動圖元感測器（APS）、高靈敏度間接轉換 X 射線感測器等。
傳統 QE 系統在新型光電偵測器測試的挑戰 ：
- 市面上的量子效率系統多為「功率模式」。
- 隨行動裝置的大量普及，先進光電偵測器如 APD、SPAD、ToF 等，元件收光面積均微型化，有效收光面積由數十微米到數百微米 （10um ~ 200um）。
- 光束聚焦的「功率模式」 ，用來檢查小面積的先進光電偵測器的問題：
- 難以將所有光子，完全打進微米等級的有效收光面積（無法達到功率模式的要求）＝> 絕對 EQE 值難以取得。
- 在聚光模式下，難以克服光學色散差、球面像差等帶來的檢查誤差。=> EQE 光譜曲線不正確。
- 難以整合探針台。
光焱科技獨家檢測技術
客製化光斑尺寸與光強度
光焱科技 APD-QE 光感測器量子效率檢查系統
在光斑直徑 25mm、工作距離 200mm 條件下檢查，可以達到光強度與光均勻度如下。在波長 530nm 時，光強度可以達到 82.97uW/(cm2)。
| WL (nm) | 半高寬 (nm) | 光均 U%=(M-m)/(M+m) | |
| 5mm×5mm | 3mm×3mm | ||
| 470 | 17.65 | 1.6% | 1.0% |
| 530 | 20.13 | 1.6% | 1.2% |
| 630 | 19.85 | 1.6% | 0.9% |
| 1000 | 38.89 | 1.2% | 0.5% |
| 1400 | 46.05 | 1.0% | 0.5% |
| 1600 | 37.40 | 1.4% | 0.7% |
在光斑直徑 25mm、工作距離 200mm 條件下，APD-QE 光感測器量子效率測試系統測得的光均勻度。
定光子數控制功能
APD-QE 光感測器量子效率檢查系統具有「定光子數」功能 (選配)，使用者可以透過控制各個單色光的光子數，讓各波長的光子數都一樣，並進行測試。這也是光焱科技 APD-QE 光感測器量子效率檢查系統的獨家技術，其他廠家都做不到。
客戶在不同的 constant photon flux 條件下，進行的光譜測試結果。
使用定光子數控制模式 (CP 控制模式)，光子數變異可以 < 1%
以上圖為例，灰色的 Normal 線是氙燈光源在各波長下的光強度分布，呈現氙燈的光譜曲線特徵。如採用 CP 控制模式，可控制不同光子數在不同波長下，保持一致的輸出特性。以橘色線 CP=15000 為例，在不同波長下輸出的光子數都是 15,000 photons/s/um2。
定光子數控制功能
>a-Si photo-FET 樣品
不同光強條件下，測試出來的不同光譜響應確實會不一樣。
>OPV或是鈣鈦礦PV樣品
對於 OPV 或是鈣鈦礦 PV 樣品，一般模式或是 CP 控制模式的測試結果沒有差異
