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SG-A CMOS 商用級影像感測器測試儀

第一臺商用級整合型影像感測器測試儀

可針對影像感測器晶片進行以下參數量測:

  1. Quantum efficiency 量子效率
  2. Overall system gain 系統增益
  3. Temporal dark noise 暫態暗雜訊
  4. Signal-to–noise ratio 信號雜訊比
  5. Absolute sensitivity threshold 絕對靈敏度閾值
  6. Saturation capacity 飽和容量
  7. Dynamic range 動態範圍
  8. Spatial nonuniformity (DSNU, PRNU) 空間非均勻性 (暗像素偏移、亮像素偏移)
  9. Linearity error 線性度誤差
  10. CRA (主光線角)
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Table of Contents

描述

快速安裝和快速部署可以幫助您加快上市時間

您是否正在尋找尖端技術,以增強半導體產品的生產和開發?
別再尋找了!SG-A是全球首台符合EMVA1288標準的商用CIS光學測試儀器,將為您的體驗帶來革新。
 

SG-A 系統是世界上第一個商用 CMOS 影像感測器測試儀。
提供比傳統非波壞性光學檢測方法更全面的缺陷檢測資訊
幫助用戶更全面地了解CIS影像晶片的性能表現
在CIS影像晶片的設計和製造過程中為製造商提供更好的指引,以確保產品的品質和可靠性

SG-A 系統可以提供最全面的 CMOS 影像感測器參數表徵,
如全譜量子效率 QE、整體系統增益 K、時間暗噪聲、信噪比、絕對靈敏度閾值、飽和容量、動態範圍、DSNU 、PRNU、線性誤差和主光線角 CRA。

被測設備可以是多種類型的 CMOS 影像感測器模組,檢驗程序符合 EMVA 1288 標準。因此可用於晶圓級光學檢測、工藝參數控制、微透鏡設計、微透鏡驗證。

SG-A CMOS 影像感測測試儀的高度准直光束(<1°)可以克服傳統光學系統(如積分球系統)無法解決的新製造工藝的檢測難題。
這些工藝包括小像素(< 1 um)、BSI 和 3D 堆疊、微透鏡、新的拜耳陣列設計等。

 

光焱科技所開發之SG-A系統有以下特色:

  • 高動態範圍測試能力:80dB ~ 140dB(不同型號)。

  • 可測試 CMOS 圖像傳感器參數:量子效率、光譜響應、系統增益、靈敏度、動態範圍、暗電流 / 噪聲、信噪比、飽和容量、線性誤差(LE)、DCNU(暗電流非均勻性)、PRNU(光響應)非均勻性)、CRA(主光線角)。

  • 全光譜波長范圍:300nm – 1100nm 或 350nm ~ 1000nm(PTC)。

  • 波長可擴展至 1700nm 以上。

  • DUT 封裝:CIS 模塊,PCB 板級,CIS 攝像頭,有 / 無微透鏡。

  • SG-A 和 DUT 之間的 “直接” 或 “握手” 通信協議。

  • 定制的測試夾具和平台(手動或自動,最多 6 軸)。

  • 強大的分析軟件 ARGUS®。

  • 應用:指紋識別(CIS + Lens、CIS + 准直器、TFT-array sensor)CIS 微透鏡設計、晶圓級光學檢測、CIS DSP 芯片算法開發、Si TFT 傳感器面板、Time-of-Flight 相機傳感器、Proximity 傳感器(量子效率、靈敏度、線性度、SNR 等)、d-ToF 傳感器、i-ToF 傳感器、多光譜傳感器、環境光傳感器 (ALS)、顯示屏下指紋 (FoD) 傳感器。 

引進SG-A:革命性的CIS光學測試儀器,提升卓越性能

SG-A採用模組化和整機式設計,為您帶來眾多優勢,節省寶貴的時間,降低試錯成本。對於半導體工程師而言,這種設計具有無與倫比的靈活性和定制能力,能夠快速識別和解決生產問題。此外,這種設計方式還能減少生產過程中的風險和不確定性,提高效率和產品品質。

模組化和整機式設計可以幫助客戶更快地推向市場,這是因為這種設計方式具有可定制性,能夠根據客戶的特定需求和要求進行快速調整和改進。 這種能力可以大大降低客戶的研發成本和時間,使客戶能夠更快地為市場提供定制化的產品,增強了他們的市場競爭力

SG-A不僅符合國際標準,如EMVA1288標準,還符合ISO 17025標準,為整體系統校準體系,確保測試結果可追溯至國際SI基礎單位,實現國際間的比對。這為我們尊貴的客戶提供了無與倫比的可信度和穩定性。

在CIS製造的各個環節,包括晶圓、晶片和模組等,SG-A實現全面評估和分析CIS產品的性能。這種先進的光學檢測方法為半導體工程師提供高效且精確的測試方式,不僅可以在不破壞產品的情況下進行測試,還能提供對CIS產品性能的深入洞察,從而改善產品的品質。此外,光學檢測技術還具有高通量、高可靠性和高效率等優勢,在CIS產品製造的各個階段提供關鍵的測試支援。

SG-A搭配強大的分析軟體ARGUS®,為您提供全面測試CIS影像感測器性能參數的能力,讓您深入探索全光譜量子效率,研究感測器在不同波長下的響應。這個全面的了解能夠讓您優化感測器的性能,確保敏感度最佳,拍攝出驚人的影像。

SG-A和ARGUS®的另一項優勢是光譜響應分析。您可以評估感測器對不同波長的響應,讓您在特定照明條件和應用中優化其性能。這樣的優化能夠實現無可比擬的色彩準確度和保真度。

系統增益評估對於獲得優質影像和最小噪點至關重要。SG-A和ARGUS®可以精確測量和分析感測器的增益特性,讓您提升影像品質,特別是在低光環境下,獲得更銳利、更鮮豔的影像。

感度分析由SG-A和ARGUS®提供,讓您評估感測器捕捉微小細節和光強度變化的能力。通過優化感度,您可以突破影像品質的極限,確保每張照片都具有卓越的清晰度和定義。

動態範圍評估對於拍攝亮度變化較大的場景至關重要。SG-A和ARGUS®使您能夠分析感測器的動態範圍能力,確保在高光和陰影區域都能保留細節。這樣的優化能夠讓您的影像具有出色的色調範圍和平衡的曝光。

暗噪聲評估在低光環境下減少不必要的雜訊和影像異常至關重要。SG-A和ARGUS®提供詳細的暗噪聲分析,讓您優化降噪算法,獲得清晰無噪聲的影像,即使在具有挑戰性的照明條件下也能表現出色。

訊噪比(SNR)分析由SG-A和ARGUS®提供,讓您通過量化訊號和不需要的雜訊之間

的比例,評估影像的品質。通過最大化訊噪比,您可以獲得清晰的影像,減少雜訊異常,提升整體影像的忠實度。

飽和容量分析對於了解感測器捕捉和呈現顏色的極限能力至關重要。通過SG-A和ARGUS®,您可以評估感測器的飽和容量,確保在最具挑戰性的照明條件下實現生動、真實的色彩。

線性誤差(LE)評估有助於了解感測器在線性增加的光強度下的準確性。通過分析和減少線性誤差,您可以實現一致且準確的曝光,確保對具有精確色調漸變的場景進行忠實再現。

SG-A和ARGUS®還支持DCNU(暗電流非均勻性)和PRNU(光反應非均勻性)的評估。這些分析提供關於感測器均勻性的洞察,讓您識別並減輕任何非均勻性問題,實現更一致和可靠的性能。

此外,SG-A還可以測量主射線角度(CRA),該角度決定主射線進入感測器的角度。通過精確評估CRA,您可以確保光線的最佳聚集,極大地提升影像的銳利度和品質。

SG-A和ARGUS®為測試和分析CIS影像感測器提供全面解決方案,提供寶貴的數據和洞察,以提升產品性能,獲得卓越的影像品質。踏入這個尖端技術,讓SG-A和ARGUS®助您將CIS感測器生產推向新的高度。

SG-A 檢測實證

 

 

Sga CMOS影像晶片(CIS)測試

SG-A優異的優異的光學系統設計,可以使用非破壞性的光學調制技術,將數位影像訊號,逆轉譯得到類比模擬訊號特性,如量子效率、光譜響應、系統增益、動態範圍、暗電流雜訊、SNR、飽和容量、線性誤差(LE)、暗電流不均勻度(DNU)、光響應不均勻度(PRNU)、主光角(CRA)測試。

測試數據如下:

SG-A 測試數據SG-A 測試數據

SG-A 測試數據

TFT 影像模組開發驗證(FoD)

隨著全面屏手機設計成為主流,光學屏下指紋辨識亦受到市場的熱烈關注。其中,TFT屏下影像辨識模組的發展,亦成為各家顯示器製造商、顯示驅動晶片商技術開發的必爭高地。SG-A採用非破壞性的光學檢測技術,可以快速的檢測TFT影像模組的各種重要參數,如全光譜量子效率的檢測,無需破壞性樣品製備,即可分析,加快了整體產品設計與驗證的時程,可大幅提昇市場競爭力。如上圖(左),兩種不同工藝的TFT影像模組的量子效率光譜,可幫助開發者分析工藝的優劣。圖(中)在玻璃基板上的TFT影像感測模組。圖(右)TFT影像感測器微觀平面結構圖範例。

應用領域

應用領域

指紋識別
CIS + 鏡頭、CIS + 准直器、TFT 陣列傳感器)

CIS 微透鏡設計,晶圓級光學檢測

CIS DSP 芯片算法開發 Si TFT 感測器面板
飛行時間相機感測器 接近感測器
(量子效率、靈敏度、線性度、SNR 等)
d-ToF 感測器、i-ToF 感測器 多光譜感測器
環境光傳感測 (ALS) 屏下指紋 (FoD) 感測器

 


 

可檢測項目

可檢測參數
Quantum efficiency 量子效率 Spatial nonuniformity (DSNU, PRNU)
空間非均勻性 (暗像素偏移、亮像素偏移)
Overall system gain 系統增益 Linearity error 線性度誤差
Temporal dark noise 暫態暗雜訊 CRA(主光線角)
Signal-to–noise ratio 信號雜訊比 Saturation capacity 飽和容量
Absolute sensitivity threshold 絕對靈敏度閾值 Dynamic range 動態範圍

 


 

設備規格

設備規格
量子效率測試系統 標配Qth光源,(可選配75W氙燈白光光源)
橢圓聚光光學系統
自動濾片輪系統
穩定供電電源
全光譜波長范圍:300-1100 nm 或 350-1700nm
單波長光源:470nm、530nm、630nm、940nm(±5nm)或訂制。(PTC)
單色光模組:波長範圍350-1100nm;
波長解析度0.1nm,典型頻寬為10nm;波長準確度0.6nm
動態範圍:80dB、100dB或140dB

光纖耦合均光模組(SG-A-i-QE-CU401001-S方案)
光纖耦合均光模組 均光面積 10×10mm,>99%
20×20mm,>97%
工作距離 距離發光口>20cm
單色光最大發光強度 25 μW/cm2
15 μW/cm2
10 μW/cm2
470 nm
530 nm
630 nm
光源不穩定性 <1%
准直角度 < 3°
< 1°
Ø 40mm
Ø 10mm
高均光量子效率測試系統(SG-A-QE-RU502001-S方案)
高均光量子效率測試系統 均光面積 10×10mm,>99%
20×20mm,>98%
工作距離 距離發光口>20cm
單色光最大發光強度 8 μW/cm2
5 μW/cm2
2 μW/cm2
470 nm
530 nm
630 nm
光源不穩定性 <1%
准直角度 < 3°
< 1°
Ø 50*50mm
Ø 10*10mm

系統控制器相容 PCI, USB, RJ45, RS232 等通訊方式

輻照度校正模組 光能量校正模組
快速傅立葉轉換(FFT)電流量測模組,電流測試精度 0.01fA
光能量校正模組:

矽偵測器,面積10×10mm2
經過預老化處理(穩定性佳)
校正波長範圍:350-1000nm,峰值@960 nm
溯源美國NIST,附帶校正證書

載物臺/夾具 無、手動3軸或6軸(手動 + 自動)載物台(可訂制)
測試夾具:DUT ≤ 100mm x 100mm x 30mm(高度)[基本型]或訂制
控制器  工業電腦( 含螢幕、鍵盤滑鼠)
產品尺寸
  1. 水電氣需求:水:N/A、電:單相220V-20A-50/60Hz、氣:N/A
  2. 適用環境: 溫度15~35度,濕度20%~65%
  3. 設備重量:350Kg
  4. 檯面承重:500Kg
  5. 設備尺寸:1600mm(L) x 850mm(W) x 1400mm(H)
  6. 檯面面積:2300mm(L) x 1000mm(W)

 


 

軟體功能

 

ARGUSTM
測量軟體功能
使用輸入灰階值影像檔
(不少於50幀,符合 EMVA 1288 標準, 依光焱軟件命名規則)
可以測量的參數包括: QE, PTC, Dark noise, SNR, DR, System Gain, Saturation Capacity

 

 

選配:校準光源

可選配 選配內容
QE近紅外波長擴展至1800 nm  QE近紅外波長擴展至1800 nm
經過預老化處理,高穩定性
校正波長範圍:800-1800nm
溯源美國NIST,附帶校正證書
SG-A校準光源-1- 峰值波長: 480 nm ± 5 nm (藍光)
半峰寬:10 nm ± 5 nm
最大輻照強度: > 50 uW/cm2
均勻光面積10 mm x 10 mm, 均勻度 > 99%
光源穩定性<0.2%
准直發散半角度不超過3°
TE 半導體製冷
導線和適配器
SG-A校準光源-2- 峰值波長: 555 nm ± 5 nm (綠光)
半峰寬: 15 nm ±5 nm
最大輻照強度: > 70 uW/cm2
均勻光面積10 mm x 10 mm, 均勻度 > 99%
光源穩定性<0.2%
准直發散半角度不超過3°
TE 半導體製冷
導線和適配器
SG-A校準光源-3- 峰值波長: 630 nm ± 5 nm (紅光)
半峰寬: 10 nm ± 5 nm
最大輻照強度: > 70 uW/cm2
均勻光面積10 mm x 10 mm, 均勻度 > 99%
光源穩定性<0.2%
准直發散半角度不超過3°
TE 半導體製冷
導線和適配器
SG-A校準光源-4- 峰值波長: 940 nm ± 5 nm
半峰寬:15 nm ± 5 nm
最大輻照強度: > 50 μW/cm2
均勻光面積10 mm x 10 mm, 均勻度 > 99%
光源穩定性<0.2%
准直發散半角度不超過3°
TE 半導體製冷
導線和適配器
SG-A校準光源-5- 峰值波長: 365 nm ± 5 nm
半峰寬:10 nm ± 3 nm
最大輻照強度: > 100 μW/cm2
光源穩定性<0.2%
TE 半導體製冷
導線和適配器
SG-A校準光源-6- 峰值波長: 1300 nm ± 10 nm
半峰寬:30 nm ± 10 nm
最大輻照強度: > 5 μW/cm2
光源穩定性<0.2%
TE 半導體製冷
導線和適配器

選配:測試光源

可選配 選配內容
精簡型PTC測試光源-1-
含暗箱控制
光源模組
單色光發光波長:520 nm ±10 nm @ FWHM:30±5 nm
單色光發光強度:> 15 uW/cm2
均光面積:10×10 mm, >99% 均勻度光強調節範圍:
手動粗調: 10倍, 100倍光學衰減片,手動更換。
自動細調: 電腦控制0~100%強度調整,0~255調整精度,重複優於精度1%(S/N >100)
光源壽命:10000小時暗室及樣品台
暗室尺寸: 30 x 30 x 30 cm樣品移動滑台:
移動行程 : ±100 mm
最大載重: 4Kg
– 可放最大模組板:100 mm x 100 mm
精簡型PTC測試光源-2-
含暗箱控制
光源模組
單色光發光波長:940 nm ±10 nm @ FWHM:40±5 nm
單色光發光強度: > 10 uW/cm2
均光面積:10×10 mm, >99% 均勻度光強調節範圍:
手動粗調: 10倍, 100倍光學衰減片,手動更換。
自動細調: 電腦控制0~100%強度調整,0~255調整精度,重複優於精度1%(S/N >100)
光源壽命:10000小時暗室及樣品台
暗室尺寸: 30 x 30 x 30 cm樣品移動滑台:
移動行程 : ±100 mm
最大載重: 4Kg
– 可放最大模組板:100 mm x 100 mm
精簡型PTC測試光源-3-
含暗箱控制
光源模組單色光發光波長
-紅光:635nm±10nm@FWHM:15 ±10 nm
-綠光:525nm±10nm@FWHM:30 ±10 nm
-藍光:465nm±10nm@FWHM:20 ±10 nm單色光發光強度
– 紅光:30μW/cm2 (約 50 Lux)
-綠光:20μW/cm2 (約 100 Lux)
-藍光:30μW/cm2 (約 7.5 Lux)均光面積:10×10 mm, >99% 均勻度光強調節範圍:
手動粗調: 10倍, 100倍光學衰減片,手動更換。
自動細調: 電腦控制0~100%強度調整,0~255調整精度,重複優於精度1%(S/N >100)
光源壽命:10000小時暗室及樣品台
暗室尺寸: 30 x 30 x 30 cm樣品移動滑台:
移動行程 : ±100 mm
最大載重: 4Kg
– 可放最大模組板:100 mm x 100 mm
精簡型PTC測試光源-4-
含暗箱控制
光源模組
波長範圍:400 nm ~770 nm
最大光強:> 150 Lux
均光面積:10×10 mm, >99% 均勻度光強調節範圍:
手動粗調: 10倍, 100倍光學衰減片,手動更換。
自動細調: 電腦控制0~100%強度調整,0~255調整精度,重複優於精度1%(S/N >100)光源壽命:10000小時暗室及樣品台
暗室尺寸: 30 x 30 x 30 cm樣品移動滑台:
移動行程 : ±100 mm
最大載重: 4Kg
– 可放最大模組板:100 mm x 100 mm
SG-A-P測試光源-1 單色光發光波長:
520 nm ±10 nm @ FWHM:30±5 nm單色光發光強度: > 15 uW/cm2均光面積: 10×10 mm, >99% 均勻度
光源壽命:10000小時
SG-A-P測試光源-2 單色光發光波長:
940 nm ±10 nm @ FWHM:40±5 nm單色光發光強度: > 10 uW/cm2均光面積: 10×10 mm, >99% 均勻度
光源壽命:10000小時
SG-A-P測試光源-3 單色光發光波長
– 紅光:635nm±10nm@FWHM:15 ±10 nm
-綠光:525nm±10nm@FWHM:30 ±10 nm
-藍光:465nm±10nm@FWHM:20 ±10 nm單色光發光強度
– 紅光:30μW/cm2 (約 50 Lux)
-綠光:20μW/cm2 (約 100 Lux)
-藍光:30μW/cm2 (約 7.5 Lux)均光面積: 10×10 mm, >99% 均勻度
光源壽命:10000小時
SG-A-P測試光源-4 波長範圍:400 nm ~770 nm

最大光強:> 150 Lux

均光面積: 10×10 mm, >99% 均勻度
光源壽命:10000小時

高準直單色光源 / 缺陷檢測照明器 Half divergent angle:< 1.3 degree (F# = 10)
Color Temperature:4850K ~ 5500K (TBD±5%)Beam Size: Ø70 mm
Uniformity:30 mm x 30 mm > 90%High Intensity Mode:900 ~ 1500 Lux
Step:< 5 LuxMedian Intensity Mode:30 ~ 900 Lux
Step:< 2 LuxLow Intensity Mode:0 ~ 30 Lux
Step:< 0.1 LuxIntensity Mode switch:software control
Weight:1.9kg
Dimension:250mm(L) * 140mm(W)
Working Distance:165mmDC control
LED 線性度優化控制模組
Response time:
光源開啟時間:<1 s
光源開啟後調變時間:<200 ms(光強調變範圍間距愈小, 光源愈快穩定)搭配濾片
IR cut-filter : CM500S
Color filter : R/G/B
客製光源固定座

 

其他選配項目

可選配 選配內容
相機樣品台 校正/測試手動調整切換
調整精度: 10 μm
可相容最大樣品尺寸: 80 mm x 80 mm x 45 mm(厚)
最大荷重:5kg
自動CRA測試模組 CRA測試軟體
樣品最大尺寸:80 mm x 80 mm x 45 mm(厚) 荷重:3kg
電腦控制旋轉樣品台
旋轉角度範圍:±80度
旋轉分辨率: 0.01度
自動XY 軸位移控制
校正/測試位置快速定位切換
位移距離: ±50 mm
位移精度: 2 μm
Z軸位移控制(手動控制)
位移距離: ±6 mm
位移精度: 10 μm
暗箱 尺寸:1000 mm x 900 mm x 1400 mm (10% 異動空間)
全波長高動態範圍光強度變化功能 自動線性光強調節器
連續細調光強變化
光強控制範圍0~100%
掃描精度0.1%
重複精度優於3%
自動控制

 

尺寸圖/架構

 

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